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S49系列质量流量控制器和质量流量计型号
S49 31 系列质量流量控制器，S49为质量流量控制器和质量流量计产品，31/MT为本公司此产品设计序列号。
其中：S49 31/MT 系列为质量流量控制器。
S49 31A/MT 系列为质量流量计。
质量流量计用于气体质量流量精确测量计量；质量流量控制器不但具有质量流量计的测量计量功能，还具有自动控制气体流量的功能。
S49 31 质量流量控制器和质量流量计特点：
☆主体采用不锈钢（316L）结构，气密材料采用VITON®、聚四氟乙烯等。适用于各种耐腐蚀性气体。
☆耐压高及适用于真空条件下工作。低压降。工作压力范围宽，气体流量不因温度、压力的变化而变化。
☆具有精度高、重复性好、响应速度快、软启动、工作稳定可靠。
☆可任意位置安装。电气操作控制显示，使用方便。易于与电气系统或自动控制系统配合。
☆配合MT-60 系列流量积算仪，可对气体的瞬时流量和累积流量进行精确计量。
S49 31 质量流量控制器和质量流量计主要应用领域：
半导体制造行业的气体流量控制；
分析仪器设备的气体计量与控制；
各种形式的真空镀膜设备；
环境检测与分析设备；
化工、石化、食品、冶金、光纤熔炼等行业气体流量检测和控制；
特种材料表面处理装置与燃烧控制；
混气配气系统和泄露探测系统等。
质量流量计和质量流量控制器流量出厂通常用氮气(N2)标定。
质量流量单位为：标准状态mL/min （毫升/分钟） （SCCM行业标准）；
标准状态L/min （升/分钟）（SLM行业标准）。
标准状态为：温度----0℃；
气压----101325Pa
F.S(Full Scale):表示满量程值
S49 31/MT流量控制器、S49 31A/MT流量计技术指标
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编号 |
项目 |
S49 31/MT |
S49 31A/MT |
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1 |
流量规格 |
(0～5,10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min; (0～1,2,3,5)L/min |
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2 |
调节阀类型 |
电磁调节阀 |
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3 |
调节阀静止状态 |
常闭 |
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4 |
准确度 |
±1%F.S(10mL/min～5L/min规格，其余规格≤±2% F.S) |
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5 |
线性 |
±1.0%F.S，±1.5%F.S |
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6 |
重复精度 |
±0.2%F.S |
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7 |
响应时间 |
(3～4)s |
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8 |
工作压差范围 |
(0.05～0.3)MPa; (0.1～0.3)MPa(10～30)L/min |
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9 |
耐压 |
3MPa; 10MPa |
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10 |
工作环境温度 |
5℃～45℃ |
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11 |
材料 |
不锈钢316L |
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12 |
标准密封材料 |
Viton®， EPDM， 或其他由用户指定 |
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13 |
漏率 |
1×10-9atm.mL/s (He) |
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14 |
接头 |
Ф3mm～Ф10mm, 1/4″Swagelok(或VCR)， 软管接头Ф4mm～Ф10mm 或其他 |
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15 |
输入输出信号 |
0V～＋5.00V (输入阻抗≥100KΩ,负载输出电流能力≤3mA) |
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16 |
供电电源 |
±15V（±2%）（＋15V 50mA, －15V 200mA） |
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17 |
外形尺寸mm |
134×134×38 |
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18 |
重量kg |
1.0 |
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